6/8寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL EXCELMETRO-600 - 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司

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6/8寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL EXCELMETRO-600

配置功能

兼容8/6/5寸等尺寸晶圆；
两个Open Cassette位置，可定制SMIF；
双探头切换，适合不同应用场景，避免探头直接沾污；
控温载片台，超大升温区间；
实现超小TCR系数测量（可选配置）；
硅片厚度原位测量（可选配置）.

分类：

产品中心集成电路领域

优异性能

测量范围跨越12个数量级
满足28nm以下工艺节点要求
下针高度自动控制
自动清针组合