描述
优异性能
● 测量范围跨越13个数量级
● 高精度定位
● 下针高度自动控制
● 自动清针组合
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设备 |
MQL-443系列 |
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适用领域 |
集成电路各类导电薄膜方块电阻测量 各类硅衬底电阻率测量 |
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晶圆尺寸 |
兼容12/8/6寸及 以下尺寸各类晶圆 |
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探头模组 |
双探头手动切换 各类进口及自研探头 |
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TCR测量 |
有 |
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衬底厚度测量 |
有 |
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自动清针 |
有 |
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